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产品参数
HM-A300全自动非接触光学薄膜厚膜检测设备，应用于LTCC/MLCC湿膜，厚膜电阻行业膜厚，太阳能行业膜厚，蚀刻凹坑沟槽检测。适用高反光、高透光材料，重复检测精度≦0.5μm，测量过程中快速取样周期30mm/s，拥有更强大的CPK统计功能，更直观看到Xbar-R均值极差控制图、分布概率直方图平均值、标准差、CPK等常用统计参数。配置吸附系统及高精度位移系统，测量样品准确度更测量膜厚、线宽、平面度。
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